硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物，先进陶瓷、先进材料等新应用还在不断出现。纯度5N及以下称为工业级硅烷，主要用于玻璃镀膜（与乙烯制成混合气）制造高级建筑及轿车等的节能玻璃、单向透光玻璃及中小规模集成电路。纯度6N及以上称为电子级硅烷，主要用途为：（1）光伏电池（晶硅电池氮化硅减反射膜及非晶硅薄膜电池）；（2）平板显示器行业（LCD的TFT或LTPS基底沉积等）；（3）半导体行业（集成电路或分立器的二氧化硅薄膜、氮化硅钝化薄膜、硅晶体外延等）；（4）规模化生产电子级多晶硅；（5）高纯碳化硅、氮化硅微粉等新材料领域。模化生产电子级多晶硅；（5）高纯碳化硅、氮化硅微粉等新材料领域。